TAIKO 干式真空泵是从多级舞台走向单级舞台,TAIKO运用高度技术力量开发出具有独创形状的螺杆式干式真空泵,实现世界上*低速运转,实现了极真空10-1Pa这一令人惊奇的高性能,目前,世界上的太阳能电池,液晶,半导体开发也正朝着高性能、高精度的方向进一步加速发展。TAIKO将以实现10-1Pa的干式真空泵技术为手段,与世界各地的太阳能电池、液晶、半导体厂商通力合作,共同开创属于电子行业的21世纪新时代。
1、 世界**的低转速
2、 良好的排出固形物性能
3、 结构简单
4、 能够满足10-1Pa极限真空要求
5、 抗腐蚀性气体
6、 操作性良好的泵控制器
7、 干式真空泵专用高性能机械增压器
罗茨泵